ÇѼÖÄɹÌÄ®, Çϳª¸ÓƼ¸®¾óÁî Ư¼ö°¡½º»ç¾÷ ¾ç¼ö¡¦¹ÝµµÃ¼¿ë ¼ÒÀçºÐ¾ß °È ÇѼÖÄɹÌÄ®ÀÌ Çϳª¸ÓƼ¸®¾óÁîÀÇ Æ¯¼ö°¡½º»ç¾÷ºÎ¹® ¾ç¼ö¸¦ ÅëÇØ ¹ÝµµÃ¼¿ë ¼ÒÀçºÐ¾ß¸¦ °ÈÇÑ´Ù. Çϳª¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â Áö³ 1¿ù 30ÀÏ Æ¯¼ö°¡½º»ç¾÷À» ÇѼÖÄɹÌÄ®ÀÇ ½Å¼³ ÀÚȸ»ç¿¡ ¾çµµÇÏ°í, ½Å¼³ ÀÚȸ»ç ÁöºÐ 30%¸¦ ÃëµæÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù. »ç¾÷ ¾çµµ±Ý¾×Àº 143¾ï¿ø ±Ô¸ð´Ù.
ÇѼÖÄɹÌÄ®Àº ÀüÀÚÀç·á, ¹Ú¸·Àç·á µî ÀüÀÚ¼ÒÀç Àü¹® ±â¾÷À¸·Î À̹ø Ư¼ö°¡½º »ç¾÷ºÎ¹® Èí¼ö¸¦ ÅëÇØ ¹ÝµµÃ¼ µî °ü·Ã »ç¾÷ ¿µ¿ªÀ» ´õ¿í È®´ë ¹ßÀü½Ãų °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.
À̹ø ¾ç¼öµÈ Ư¼ö°¡½º »ç¾÷ºÎ¹®Àº 2009³â À̳ë¸ÞÀÌÆ®·Î ¼³¸³µÆÀ¸¸ç, 2015³â Çϳª¸ÓƼ¸®¾óÁî¿¡ ÀμöµÅ ¼ö½Ê¾ï¿øÀÇ ÅõÀÚ¸¦ ÅëÇØ »ç¾÷À» È®´ëÇØ ¿Ô´Ù.
¿¬°£ 4,000Åæ ±Ô¸ðÀÇ N2O Á¦Á¶¼³ºñ¸¦ º¸À¯ÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ¸ð³ë½Ç¶õ(SiH4), µð½Ç¶õ(Si2H6), ºê·Òȼö¼Ò(HBr), ÀÏ»êÈÁú¼Ò(NO), »çºÒÈź¼Ò(CF4), Çï·ý(He) µî °¢Á¾ Ư¼ö°¡½º¸¦ °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÇѼÖÄɹÌÄ®Àº 1980³â ¼³¸³ÀÌ·¡ ÀüÁÖ°øÀå°ú ¿ï»ê°øÀåÀ» ¾çÃàÀ¸·Î Á¦Áö ¹× ¼¶À¯, ¹ÝµµÃ¼ µî¿¡ »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Â °ú»êȼö¼Ò¸¦ ½ÃÀÛÀ¸·Î, ¶óÅؽº, Á¦Áö¿ë ÄɹÌÄ®, °íºÐÀÚÀÀÁýÁ¦, Â÷¾ÆȲ»ê¼Ò´Ù(SD), BPO(Benzoyl Peroxide)¿¡ À̸£´Â Á¤¹ÐÈÇÐ ºÐ¾ß´Â ¹°·ÐÀÌ°í ÀüÀÚÀç·á, ¹Ú¸·Àç·á µî ÀüÀÚ¼ÒÀç ºÐ¾ß¿¡±îÁö ±â¼ú ¹× »ç¾÷À» È®´ë ¹ßÀü½ÃÄÑ ¿Ô´Ù.
ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡¼ ¸Å¿ì Áß¿äÇÑ CVD/ALD¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ´Ù¾çÇÑ ½Ç¸®ÄÜ ¹× ±Ý¼Ó Àü±¸Ã¼¸¦ »ý»êÇϸç, ¹ÝµµÃ¼¿ë ¼ÒÀç ¹× ÀüÀÚ¼ÒÀçºÐ¾ßÀÇ ÇÑ ÃàÀ» ´ã´çÇØ ¿Ô´Ù.
¾¾½ºÄÍ´åÄÄ(2020-02-03) |